Тонкоплівковість — властивість матеріалів, покриттів або структур, що характеризуються дуже малою товщиною (від кількох нанометрів до мікрометрів), яка надає їм особливих фізичних, оптичних або електричних характеристик.
Тонкоплівковість — стан або якість бути тонкоплівковим; технологічний принцип створення та застосування тонких шарів у мікроелектроніці, сонячній енергетиці, оптиці тощо.