Процес створення надзвичайно малих об’єктів, деталей або пристроїв, що передбачає їхнє проектування та виготовлення на рівні, значно нижчому за звичайну мініатюризацію, часто з використанням нанотехнологій.
Технологічний принцип або напрям у різних галузях (електроніці, машинобудуванні, медицині), спрямований на радикальне зменшення розмірів компонентів і систем при збереженні або підвищенні їх функціональності.