1. (у фізиці, хімії) Процес взаємного проникнення атомів або молекул різних речовин, що знаходяться в контакті, внаслідок теплового руху, що призводить до вирівнювання їх концентрацій по всьому об’єму; дифузія між двома різними середовищами або речовинами.
2. (у металургії, матеріалознавстві) Дифузія домішкових атомів одного типу в кристалічну решітку основного металу або напівпровідника.
3. (у геології) Процес перерозподілу хімічних елементів у гірських породах або мінералах внаслідок дифузії під впливом градієнта концентрації, температури або тиску.