1. (у техніці, матеріалознавстві) Такий, що має висоту нерівностей поверхні в нанометровому діапазоні (порядку мільярдних часток метра); властивий нанорельєфу.
2. (у геоморфології, геології) Стосовний до найменших, детальних форм рельєфу земної поверхні або інших планет, що вивчаються за допомогою високоточної апаратури.