1. Найменші форми рельєфу земної поверхні, що мають висоту або глибину від декількох міліметрів до декількох сантиметрів (наприклад, дрібні борозни, мікрозападини, вимоїни).
2. У техніці та матеріалознавстві — рельєф поверхні з надзвичайно малими нерівностями, висота яких вимірюється нанометрами (мільярдними частками метра).