1. У хімії та матеріалознавстві — метод синтезу речовин або матеріалів, що передбачає роботу з дуже малими кількостями вихідних речовин (зазвичай у мікрограмовому діапазоні) та використання мініатюрного обладнання для проведення хімічних реакцій.
2. У біології та біохімії — процес внутрішньоклітинного синтезу білків або інших макромолекул на мікроструктурному рівні, наприклад, на окремих рибосомах алі в специфічних компартментах клітини.
3. У технологіях, особливо в мікроелектроніці та нанотехнологіях — сукупність методів створення мініатюрних структур, пристроїв або систем шляхом поетапного об’єднання (синтезу) їхніх складових елементів на мікро- або нанорівні.