Процес утворення тонких шарів або прошарків у матеріалі, що призводить до його розшарування на мікроскопічному рівні, часто внаслідок внутрішніх напружень, дефектів структури або зовнішнього впливу.
У технології обробки матеріалів — контрольований метод розділення об’єкта на надтонкі шари (наприклад, графену, кристалів) для подальшого використання в мікроелектроніці чи дослідженнях.