1. Прилад для проведення мікроскопічного аналізу хімічного складу речовини, що дозволяє досліджувати локальні ділянки зразка дуже малої площі (наприклад, мікроскопічні включення в мінералах або металах).
2. (у лінгвістиці) Програмний інструмент або метод для детального, поетапного аналізу дуже коротких мовних одиниць, мовленнєвих актів або мікромовленнєвих взаємодій.