Значення
-
Хемоепітаксія — метод синтезу монокристалічних тонких плівок на поверхні підкладки, при якому кристалічна структура плівки утворюється шляхом спрямованого хімічного осадження з газової фази, що дозволяє точно контролювати її орієнтацію та товщину.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. хемоепітаксія, р. хемоепітаксії, д. хемоепітаксії, з. хемоепітаксію, о. хемоепітаксією, м. хемоепітаксії, к. хемоепітаксіє