хемоепітаксія

Хемоепітаксія — метод синтезу монокристалічних тонких плівок на поверхні підкладки, при якому кристалічна структура плівки утворюється шляхом спрямованого хімічного осадження з газової фази, що дозволяє точно контролювати її орієнтацію та товщину.