1. (у техніці) Пов’язаний з попереднім, попереджувальним відкачуванням повітря або газу з герметичного об’єкта (наприклад, камери) до певного проміжного тиску, що є етапом для подальшого створення глибокого вакууму.
2. (у техніці) Призначений для створення такого попереднього розрідження або працюючий у діапазоні проміжних тисків (наприклад, форвакуумний насос, форвакуумна магістраль).