1. Попередній вакуум, створюваний у вакуумній системі перед досягненням основного (робочого) високого вакууму.
2. Вакуум низького або середнього тиску (зазвичай в діапазоні від 100 до 0.1 Па), який є проміжною стадією технологічного процесу відкачування.