тетрасилан

1. Хімічна сполука з групи силанів, що складається з чотирьох атомів кремнію та десяти атомів водню (Si₄H₁₀), аналог бутану в органічній хімії.

2. Технологічний газ, що містить високу концентрацію сполуки Si₄H₁₀, який використовується в напівпровідниковій промисловості для осадження плівок кремнію високої чистоти.

Приклади вживання

Відсутні

Частина мови: іменник (однина) |