1. (про технологічний процес) Призначений для термоокиснення, тобто створення оксидного шару на поверхні матеріалу (зазвичай напівпровідника, наприклад, кремнію) шляхом його нагрівання в окисному середовищі.
2. (про обладнання, піч) Призначений для проведення процесу термоокиснення.