Значення
-
(про технологічний процес) Призначений для термоокиснення, тобто створення оксидного шару на поверхні матеріалу (зазвичай напівпровідника, наприклад, кремнію) шляхом його нагрівання в окисному середовищі.
-
(про обладнання, піч) Призначений для проведення процесу термоокиснення.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. термоокислювальний, р. термоокислювального, д. термоокислювальному, з. термоокислювального, о. термоокислювальним, м. термоокислювальнім, к. термоокислювальний