Радіоокиснення — хімічний процес окиснення (приєднання кисню або віддача електронів) речовини під дією іонізуючого випромінювання, наприклад, гамма-променів або потоку заряджених частинок.
Радіоокиснення — у технології матеріалів, зокрема напівпровідників, — контрольоване утворення оксидного шару на поверхні за допомогою радіаційного впливу, що застосовується для модифікації властивостей матеріалу.