Мікропристрій — компактний технічний пристрій або елемент, що має мініатюрні розміри та виконує певну, часто вузькоспеціалізовану функцію; мініатюрний пристрій.
Мікропристрій — у техніці, електроніці та мікросистемній технології: пристрій, створений за допомогою методів мікрообробки (мікроелектромеханічні системи — МЕМС, мікрофлюїдні чипи тощо), розміри якого вимірюються в мікрометрах або міліметрах.