1. Розділ метрології, що займається вивченням і розробкою методів та засобів вимірювання дуже малих лінійних розмірів, кутів, переміщень з високою точністю, зазвичай у мікрометровому діапазоні.
2. Сукупність методів і техніки вимірювання мікрооб’єктів або мікровідстаней за допомогою спеціальних приладів (наприклад, мікроскопів з мікрометричними гвинтами, лазерних інтерферометрів).