Мікродеформація — незначна, майже непомітна деформація (спотворення форми або розмірів) матеріалу, деталі чи структури, яка зазвичай виникає під дією механічних навантажень і може бути виявлена лише за допомогою спеціальних методів дослідження (наприклад, мікроскопії).
Мікродеформація — у фізиці твердого тіла та матеріалознавстві — локальне пружне спотворення кристалічної ґратки матеріалу на мікроскопічному рівні, що передує макродеформації та пластичним змінам.