Хемоепітаксіальний (від «хемо-» та «епітаксіальний») — технологічний термін, що описує метод отримання тонких монокристалічних шарів (плівок) на кристалічній підкладці шляхом осадження речовини з газової фази в результаті контрольованих хімічних реакцій, при якому структура шару точно повторює кристалічну структуру підкладки (орієнтацію її грат).
У вузькому контексті може стосуватися саме шару, матеріалу або структури, отриманої таким методом (наприклад, хемоепітаксіальний шар кремнію).