1. (у фізиці, матеріалознавстві) Пов’язаний з епітаксією; такий, що має властивість орієнтованого нарощування одного кристалічного матеріалу на поверхні іншого (підкладки) з успадкуванням структури основи.
2. (у технології) Створений або отриманий методом епітаксійного зрощування (наприклад, про епітаксійні шари, плівки, структури).