Ультравакуум — надзвичайно низький тиск газу, що значно перевищує ступінь розрідження звичайного високого вакууму, зазвичай в діапазоні нижче 10⁻⁷ Па (паскаль); технологічний режим, необхідний для роботи сучасних прискорювачів заряджених частинок, досліджень поверхні та створення напівпровідникових мікросхем.
Древослів
Словник Української Мови