Значення
-
Ультравакуум — надзвичайно низький тиск газу, що значно перевищує ступінь розрідження звичайного високого вакууму, зазвичай в діапазоні нижче 10⁻⁷ Па (паскаль); технологічний режим, необхідний для роботи сучасних прискорювачів заряджених частинок, досліджень поверхні та створення напівпровідникових мікросхем.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. ультравакуум, р. ультравакууму, д. ультравакуумові, з. ультравакуум, о. ультравакуумом, м. ультравакуумі, к. ультравакууме