1. (фіз.) Прилад для вимірювання дуже малих відстаней (менших за мікрометр) або для визначення розмірів надзвичайно дрібних об’єктів, що використовується в наукових дослідженнях.
2. (тех.) Високоточний вимірювальний інструмент, заснований на оптичних, інтерференційних або інших принципах, що дозволяє фіксувати мікропереміщення та розміри в нанометровому діапазоні.