Ультрамікроаналізатор — високочутливий аналітичний прилад, призначений для визначення хімічного складу речовини за дуже малих (ультрамікро) кількостей досліджуваного зразка, що зазвичай не перевищує 10⁻⁶–10⁻⁹ г.
Ультрамікроаналізатор — спеціалізована електронно-променева мікрорентгеноспектральна установка (мікроаналізатор), здатна проводити якісний та кількісний аналіз елементного складу в мікрооб’ємах на зразках надзвичайно малих розмірів або в локальних ділянках поверхні.