1. Хімічна сполука, силани з трьома атомами кремнію в молекулі, зокрема циклотрисилан Si₃H₆.
2. У технічній термінології — можлива назва для органічної сполуки, похідної від трисилоксану, що використовується у виробництві полімерів, олиф, герметиків.