Значення
-
Тетрафторомоносилан — хімічна сполука, силановий похідний, що має формулу SiH₃F₄, у якій атом кремнію з’єднаний з трьома атомами водню та чотирма атомами фтору; високореакційна неорганічна речовина, що використовується в синтезі кремнійорганічних сполук та напівпровідниковому виробництві.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. тетрафторомоносилан, р. тетрафторомоносилану, д. тетрафторомоносиланові, з. тетрафторомоносилан, о. тетрафторомоносиланом, м. тетрафторомоносилані, к. тетрафторомоносилане