1. Розділ хімії, що вивчає хімічні процеси, які відбуваються в низькотемпературній плазмі, а також методи їх використання для синтезу та переробки речовин.
2. Сукупність технологічних процесів, заснованих на використанні хімічних реакцій у плазмі для отримання матеріалів, напівпровідникових структур, нанопорошків тощо.