Оже-спектроскопія — метод електронної спектроскопії для дослідження складу та електронної структури поверхні твердих тіл, заснований на аналізі енергії електронів Оже, що випромінюються внаслідок безвипромінювальних переходів після іонізації внутрішніх оболонок атома.