1. Технологічний процес створення надзвичайно малих (мікронних та субмікронних розмірів) деталей, пристроїв або компонентів, що є основою мікроелектроніки та нанотехнологій.
2. Напрям у техніці та промисловості, що полягає у постійному зменшенні габаритів, маси та обсягу виробів при збереженні або підвищенні їх функціональності.