Високоточний оптичний прилад для вимірювання мікронерівностей, товщини тонких плівок або контролю якості поверхонь шляхом інтерференції (накладання) світлових хвиль, що відбиваються від досліджуваного об’єкта та еталонного дзеркала.
Словник Української Мови
Буква
Високоточний оптичний прилад для вимірювання мікронерівностей, товщини тонких плівок або контролю якості поверхонь шляхом інтерференції (накладання) світлових хвиль, що відбиваються від досліджуваного об’єкта та еталонного дзеркала.