Значення
-
Високоточний оптичний прилад для вимірювання мікронерівностей, товщини тонких плівок або контролю якості поверхонь шляхом інтерференції (накладання) світлових хвиль, що відбиваються від досліджуваного об’єкта та еталонного дзеркала.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. мікроінтерферометр, р. мікроінтерферометра, д. мікроінтерферометрові, з. мікроінтерферометр, о. мікроінтерферометром, м. мікроінтерферометрі, к. мікроінтерферометре