1. (у фізиці напівпровідників) такий, що характеризується гомоепітаксією — ростом кристалічного шару на підкладці того самого хімічного складу та кристалічної структури.
2. (у матеріалознавстві) що стосується процесу або структури, де монокристалічний шар одного матеріалу вирощується на монокристалічній підкладці того самого матеріалу, що забезпечує ідеальну відповідність кристалічних ґраток.