1. (про матеріал, шар тощо) Такий, що змінює свої властивості (зокрема розчинність) під дією світлового випромінювання, що використовується у фотолітографії для створення захисного шаблону на поверхні при виготовленні мікроелектронних схем.
2. (про ефект, явище) Пов’язаний із зміною електричного опору напівпровідникового матеріалу при освітленні.