Значення
-
Фоторезист — світлочутливий полімерний матеріал, який наноситься тонким шаром на поверхню напівпровідникової пластини (вафель) і змінює свою розчинність під дією ультрафіолетового випромінювання, що дозволяє формувати на ній мікроскопічний рельєфний візерунок під час фотолітографії у виробництві мікроелектронних пристроїв.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. фоторезист, р. фоторезисту, д. фоторезистові, з. фоторезист, о. фоторезистом, м. фоторезисті, к. фоторезисте