1. Технологічний процес у мікроелектроніці та виробництві друкованих плат, що полягає у формуванні на поверхні матеріалу (наприклад, кремнієвої пластини) мікроскопічного рельєфу шляхом впливу світлового випромінювання через фотошаблон на попередно нанесений світлочутливий шар (фоторезист) з подальшою хімічною обробкою.
2. (заст.) Історичний спосіб плоского друку, при якому друкована форма створювалася шляхом фотографічного перенесення зображення на літографський камінь або спеціальну пластину.