1. Стосовний до фотолітографії — технологічного процесу перенесення зображення з фотошаблону на поверхню (наприклад, кремнієвої пластини) за допомогою світла для створення мікроелектронних схем та інших мікроструктур.
2. Виготовлений або здійснений за допомогою методу фотолітографії.