Значення
- (Фізика) –
Оптичний прилад для вимірювання товщини тонких плівок та вивчення властивостей їх поверхні шляхом аналізу змін стану поляризації світла, відбитого від досліджуваного зразка.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. еліпсометр, р. еліпсометра, д. еліпсометрові, з. еліпсометр, о. еліпсометром, м. еліпсометрі, к. еліпсометре