Значення
- (Техніка) –
Електронолітографія — технологія нанесення мікронних і субмікронних малюнків на поверхню твердих тіл (наприклад, кремнієвих пластин) за допомогою сфокусованого пучка електронів, що використовується у мікроелектроніці для створення інтегральних схем та інших мікроструктур.
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. електронолітографія, р. електронолітографії, д. електронолітографії, з. електронолітографію, о. електронолітографією, м. електронолітографії, к. електронолітографіє