Електронолітографія — технологія нанесення мікронних і субмікронних малюнків на поверхню твердих тіл (наприклад, кремнієвих пластин) за допомогою сфокусованого пучка електронів, що використовується у мікроелектроніці для створення інтегральних схем та інших мікроструктур.
drevosliv.com
Словник Української