Значення
- (Техніка) –
Стосується електронолітографії — методу нанесення мікроскопічних малюнків на поверхню твердих тіл (наприклад, кремнієвих пластин) за допомогою сфокусованого пучка електронів для створення інтегральних схем та інших мікроструктур.
- (Техніка) –
Побудований на принципах або призначений для виконання електронолітографії (про обладнання, технологію, процес).
Правопис та відмінювання
Граматичні форми:
н. електронолітографічний, р. електронолітографічного, д. електронолітографічному, з. електронолітографічного, о. електронолітографічним, м. електронолітографічнім, к. електронолітографічний