1. Стосується електронолітографії — методу нанесення мікроскопічних малюнків на поверхню твердих тіл (наприклад, кремнієвих пластин) за допомогою сфокусованого пучка електронів для створення інтегральних схем та інших мікроструктур.
2. Побудований на принципах або призначений для виконання електронолітографії (про обладнання, технологію, процес).